[发明专利]磁记录媒体器件的经氟化处理的类金刚石碳保护覆层无效
| 申请号： | 01103032.1 | 申请日： | 1995-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1332446A | 公开（公告）日： | 2002-01-23 |
| 发明（设计）人： | A·格里尔;V·V·帕特尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G11B5/72 | 分类号： | G11B5/72;G11B5/255;C23C16/27 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王忠忠 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 磁记录媒体器件表面的一种经改进的耐磨保护性被覆层,由经氟化的类金刚石碳用等离子体增强化学汽相淀积法或其它适当的方法淀积成,具有减小摩阻和静摩阻的优异性能。 | ||
| 搜索关键词： | 记录 媒体 器件 氟化 处理 金刚石 保护 覆层 | ||
【主权项】：
1.一种在其表面上涂有耐磨的经氟化处理的类金刚石碳膜的器件，所述碳膜包括在大约10％和大约70％之间的原子的氟。
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