[发明专利]电子束照射设备无效
| 申请号： | 01103661.3 | 申请日： | 2001-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN1150568C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 内藤仪彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G21K5/04 | 分类号： | G21K5/04;H01J33/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种电子束照射设备，包括：一个电子源；一个用于加速从上述电子源发射出的电子的加速装置；一个偏转装置，用于将由加速装置产生的高能量电子束在一个扫描方向中进行偏转；一个用于在真空状态下容纳上述电子源、加速装置和偏转装置的真空室；用于将电子束从真空状态下发射到气体状态的窗口片；用于附着到上述窗口片并支撑上述窗口片的横挡杆；以及用于在电子束与上述横挡杆相交的区域遮蔽横挡杆免于受电子束照射的冷却块。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 照射 设备 | ||
【主权项】：
1.一种电子束照射设备，包括：用于发射电子的电子源；加速装置，用于加速从上述电子源发射出的电子以形成电子束；偏转装置，用于将由加速装置产生的电子束在一个扫描方向中进行偏转；用于在真空状态下容纳上述电子源、加速装置和偏转装置的真空室；用于将电子束从真空状态下发射到气体状态的窗口片；用于附着到上述窗口片并支撑上述窗口片的横挡杆；以及用于在电子束与上述横挡杆相交的区域遮蔽横挡杆免于受电子束照射的冷却块。
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