[发明专利]具有透明导电薄膜的触摸屏基材有效
申请号: | 01104562.0 | 申请日: | 2001-02-16 |
公开(公告)号: | CN1144085C | 公开(公告)日: | 2004-03-31 |
发明(设计)人: | 丰岛隆之;新井大介;安崎利明;荻野悦男 | 申请(专利权)人: | 日本板硝子株式会社 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马高平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种透明触摸屏基材,包括透明基材以及附着其上的透明导电金属氧化物薄膜,该薄膜包含作为三种金属元素的锌、铟和锡并在酸中可溶。薄膜优选地包含以所有金属计的40%到65%原子含量的锌,及包含以原子含量计的锡量的0.25到1.3倍的铟。薄膜厚度优选地从100到160nm。本发明的触摸屏基材具有三种特性:较高的光透射率;在形成透明电极过程中通过酸蚀刻容易加工;以及透明导电薄膜具有从500到5,000Ω的中度表面电阻。 | ||
搜索关键词: | 具有 透明 导电 薄膜 触摸屏 基材 | ||
【主权项】:
1.一种透明触摸屏基材,包括透明基材以及附着其上的透明导电金属氧化物薄膜,该薄膜含有作为金属元素的锌、铟和锡,并且在酸中可溶,其中,透明导电金属氧化物薄膜含有基于所有金属的原子的40%到65%的锌并且包含以原子为基础的锡量的0.25到1.3倍量的铟。
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