[发明专利]刻蚀装置无效
| 申请号： | 01104686.4 | 申请日： | 1996-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1321797A | 公开（公告）日： | 2001-11-14 |
| 发明（设计）人： | 一濑博文;泽山一平;长谷部明男;村上勉;久松雅哉;新仓谕;上野雪绘 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C25F3/12 | 分类号： | C25F3/12;C25F7/00;H01L21/306;H01L21/465;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 刻蚀物体的方法和刻蚀装置,该方法包括将物体浸入电解液作负电极;设置具有相应图形的相对电极,与物体维持预定间隔;物体和相对电极之间加直流或脉冲电流,将物体上要刻蚀的区域刻蚀成相对应的图形。该刻蚀装置包括固定基片的基片固定部件;装电解液的电解槽;移动基片固定部件的移动装置;和固定相对电极的相对电极固定部件,使所说相对电极位于固定于基片固定部件上的基片的对面。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀装置，包括：(a)固定具有要刻蚀区域的基片的基片固定部件，(b)装电解液的电解槽，(c)为了将固定在基片固定部件上的基片浸入装于电解槽的电解液中，移动基片固定部件的移动装置，和(d)固定具有和形成在基片要刻蚀区域的要求刻蚀图形相对应的图形的相对电极的相对电极固定部件，使所说相对电极位于固定于基片固定部件(a)上的基片的对面。
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