[发明专利]双位元非挥发性存储单元的结构及其读写方法有效
申请号: | 01104742.9 | 申请日: | 2001-02-23 |
公开(公告)号: | CN1156009C | 公开(公告)日: | 2004-06-30 |
发明(设计)人: | 陈锦扬 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L27/105;H01L21/8239 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种双位元非挥发性存储单元结构及其读写方法,此存储单元包括二堆叠栅结构、二堆叠栅结构间的一掺杂区,及位于二堆叠栅结构外侧的二源/漏极区,源/漏极区的掺杂型态与掺杂区相同。写入时,同时将二堆叠栅结构下方的通道打开,以通道电流的方向选择欲写入的浮置栅极。读数据时,在第一浮置栅极上方的第一、第二控制栅极上施加读取偏压、转移偏压,以二源/漏极区导通与否来决定数据是否写入,其中读取偏压大于擦除状态的通道启始电压,小于写入状态的启始电压,转移偏压大于写入状态的启始电压。 | ||
搜索关键词: | 位元 挥发性 存储 单元 结构 及其 读写 方法 | ||
【主权项】:
1.一种双位元非挥发性存储单元的结构,包括:一基底;位于该基底上的二堆叠栅结构,其中每一堆叠栅结构都包括由下而上堆叠的一隧道层、一浮置栅极、一栅间介电层与一控制栅极;一掺杂区,该掺杂区位于该二堆叠栅结构之间的该基底中;以及二源/漏极区,该二源/漏极区分别位于该二堆叠栅结构外侧的该基底中,且该二源/漏极区的掺杂型态与该掺杂区相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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