[发明专利]双位元非挥发性存储单元的结构及其读写方法有效

专利信息
申请号: 01104742.9 申请日: 2001-02-23
公开(公告)号: CN1156009C 公开(公告)日: 2004-06-30
发明(设计)人: 陈锦扬 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L27/105;H01L21/8239
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 台湾省新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种双位元非挥发性存储单元结构及其读写方法,此存储单元包括二堆叠栅结构、二堆叠栅结构间的一掺杂区,及位于二堆叠栅结构外侧的二源/漏极区,源/漏极区的掺杂型态与掺杂区相同。写入时,同时将二堆叠栅结构下方的通道打开,以通道电流的方向选择欲写入的浮置栅极。读数据时,在第一浮置栅极上方的第一、第二控制栅极上施加读取偏压、转移偏压,以二源/漏极区导通与否来决定数据是否写入,其中读取偏压大于擦除状态的通道启始电压,小于写入状态的启始电压,转移偏压大于写入状态的启始电压。
搜索关键词: 位元 挥发性 存储 单元 结构 及其 读写 方法
【主权项】:
1.一种双位元非挥发性存储单元的结构,包括:一基底;位于该基底上的二堆叠栅结构,其中每一堆叠栅结构都包括由下而上堆叠的一隧道层、一浮置栅极、一栅间介电层与一控制栅极;一掺杂区,该掺杂区位于该二堆叠栅结构之间的该基底中;以及二源/漏极区,该二源/漏极区分别位于该二堆叠栅结构外侧的该基底中,且该二源/漏极区的掺杂型态与该掺杂区相同。
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