[发明专利]彩色液晶像素驱动晶体管的制造方法无效
| 申请号： | 01108132.5 | 申请日： | 2001-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1127674C | 公开（公告）日： | 2003-11-12 |
| 发明（设计）人： | 秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136 |
| 代理公司： | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 210018*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 彩色液晶像素驱动晶体管的制造方法是一种采用单晶硅材料制备高性能彩色液晶显示器像素驱动晶体管的制造方法其步骤如下：①将清洗后的-(100)型单晶硅片与玻璃相互贴合在一起并放置1-5小时；②采用静电键合方法使硅片和玻璃形成良好的键合；③将键合好的样品用化学机械抛光的方法将单晶硅片减薄至10～20微米的厚度；④光刻并刻蚀玻璃上的单晶硅膜以形成器件小岛；⑤采用低温薄膜晶体管制造工艺在这些小岛上制造MOS晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 液晶 像素 驱动 晶体管 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种彩色液晶像素驱动晶体管的制造方法，其特征在于制造的方法如下：①将清洗后的-(100)型单晶硅片与玻璃(1)相互贴合在一起并放置1-5小时；②采用静电键合方法使硅片和玻璃形成良好的键合；③将键合好的样品用化学机械抛光的方法将单晶硅片减薄至10～20微米的厚度；④光刻并刻蚀玻璃上的单晶硅膜以形成器件小岛(2)；⑤采用低温薄膜晶体管制造工艺在这些小岛上制造MOS晶体管。
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