[发明专利]双辉空心阴极放电制备纳米金属材料的方法

摘要

一种双辉空心阴极放电制备纳米金属材料的方法，属于纳米材料的制备领域。其特征在于是一种利用双层辉光离子放电技术中的空心阴极效应及尖端放电现象所产生的溅射作用，将欲制备的纳米材料以原子、离子、粒子的形式溅射出来，从而获得所需纳米级微粒物质的方法。该方法为纳米金属材料的制备开辟了新的领域。

主权项

1.双辉空心阴极放电制备纳米金属材料方法，其具体工艺过程为：首先将能够提供欲合成纳米材料的固体物质，作为空心的供给阴极，能够收集纳米级尺寸微粒物质并具有冷却功能的极作为收集阴极，在两个阴极之间，加有快速冷却装置，将上述供给阴极、收集阴极和冷却装置，置入一个真空容器中，该容器作为公共阳极并且接地，在两个阴极与公共阳极之间，设置两套电源，其中供给阴极的工作电压在-800～-1500V之间，收集微粒的收集阴极工作电压在-100～-500V之间，极限真空度低于1.33Pa，工作时充入惰性气体或反应气体，工作气压在13.3～1333Pa之间，在此工艺条件范围内，真空容器中产生辉光放电，在离子轰击和阴极溅射的作用下，供给阴极材料以原子、离子、粒子的形式被溅射出来，这些粒子通过设置的急冷装置空间时，被快速冷却并沉积在收集阴极上，从而获得纳米级尺寸的微粒。