[发明专利]光刻成像滤波装置无效
| 申请号： | 01108758.7 | 申请日： | 2001-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1407407A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 陈旭南;康西巧;罗先刚;石建平;李展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种光刻成像滤波装置，包括照明光源、聚光镜组、成像物镜以及硅片等，在成像物镜的光瞳面位置，放置有对成像光同时进行相位和振幅滤波的复合滤波板。复合滤波板使成像光基本不受阻挡，改变了投影光刻机成像光学系统的光瞳函数，以及光学系统传递函数。本发明的光刻成像滤波装置对成像系统进行双重频谱调制，改善了频谱传输特性，提高了投影成像光刻分辨力。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 成像 滤波 装置 | ||
【主权项】：
1、一种光刻成像滤波装置，包括椭球镜(1)、照明光源(2)、聚光镜组(4)、掩模板(5)、投影成像物镜以及硅片(9)，其特征在于：在成像物镜前镜组(6)的后焦面和后镜组(8)的前焦面位置，即成像物镜的光瞳面位置，放置对成像光同时进行相位和振幅滤波的复合滤波板(7)。
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