[发明专利]含有金属化合物的腐蚀溶液的再生装置及其方法

摘要

本发明提供在提高经济性的同时,能够减少环境污染的含有金属化合物的腐蚀溶液再生装置及其方法。使用颜色传感器传感腐蚀溶液的3种颜色(红、绿、蓝),监测腐蚀溶液的腐蚀能力的变化,在腐蚀能力降低至一定的临界值以下时,通过添加能够使腐蚀溶液再氧化的添加溶液,使腐蚀溶液的腐蚀能力维持在一定,不废弃腐蚀溶液,在单一装置内进行半永久性地再有效利用。

主权项

1、含有金属化合物的腐蚀溶液的再生装置，其特征在于，包括：使腐蚀溶液经过管线循环的循环部；根据微处理机的指示，向腐蚀溶液贮存容器内的腐蚀溶液选择地供给含有酸和/或氧化剂的添加溶液中的任意添加溶液的添加溶液供给部；在从腐蚀溶液贮存容器流入的腐蚀溶液中扫描特定的光，用颜色传感器传感光的散射，将其数据传送到微处理机中的第1颜色传感器；接收来自第1颜色传感器的传感数据，和已经设定的颜色曲线进行比较分析，根据其结果选定添加溶液，为了已选定的添加溶液的投入，使添加溶液供给部活化的微处理机；以及位于上述添加溶液供给部的下段，传感添加了添加溶液的腐蚀溶液是否恢复腐蚀能力，并将该数据传送到微处理机中的第2颜色传感器。