[发明专利]一种制备金属衬底薄膜的加热方法无效

专利信息
申请号: 01110150.4 申请日: 2001-03-30
公开(公告)号: CN1156602C 公开(公告)日: 2004-07-07
发明(设计)人: 许加迪;何萌;王淑芳;周岳亮;吕惠宾;崔大复;陈正豪 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C16/00;C23C16/46
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 1000*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及薄膜制备领域,特别是应用于制备一些长带形的以金属材料为衬底的薄膜。本发明采用直接给金属衬底通电流的方法达到均匀加热的目的,采用该方法制备的薄膜性能优良,均匀性好。本发明使用方便,易于加工,造价低廉,温度均匀性好、加热范围宽,操作简单,重复性好。
搜索关键词: 一种 制备 金属 衬底 薄膜 加热 方法
【主权项】:
1.一种制备金属衬底薄膜的加热方法,其特征在于:包括以下步骤: 1)连接电路:将金属衬底长带两端包上银箔,分别用两块铜板电极 夹住,将电极通过绝缘陶瓷固定到真空室的基座上,将电极的一 端通过铜编织线连接到大电流变压器的输出端,将变压器的输入 端接到控温仪的电压输出端,电流互感器与控温仪的信号输入端 相连;两铜板电极间的距离根据衬底的长度可调;金属衬底的长 度不受限制,宽度限制在5cm以内,并且长带各点的宽度与厚度 均匀; 2)抽真空至1-20Pa; 3)用红外测温仪校准控温仪,确定温度随电流变化的函数关系;采 用电流控温法,改变通过金属衬底的电流大小来稳定衬底的温度, 电流互感器截取变压器输出端的电流信号输出到控温仪信号输入 端,根据该信号的变化改变控温仪的输出以达到稳定电流的目的。
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