[发明专利]具有光学隔离结构的发光二极管阵列及其制作方法

摘要

一种具有光学隔离结构发光二极管阵列及其制作方法。此具有光学隔离结构发光二极管阵列,包含一基板及配置于此基板上多个发光二极单元与多个深沟。此具有光学隔离结构发光二极阵列基板是为一能隙较低半导体材料,而其多个发光二极单元由另一能隙较高之半导体材料构成。此多个深沟分布于两两相邻发光二极单元之间,且至少包含一反光性金属层。藉由此多个深沟及底部能隙较低基板,可以避免发光二极阵列串讯现象(crosstalk),提高影像分辨率。

主权项

1.一种具有光学隔离结构的发光二极管阵列，包含：一基板，此基板为一低能隙半导体芯片；多个发光二极管单元，位于该基板之上，其中，每一发光二极管单元是包含一PN接口层，且由一能隙高于该基板能隙半导体材料构成；多个深沟，位于该基板之上，且每一深沟皆是介于每两两相邻该发光二极管单元之间，用以分隔该多个发光二极管单元，其中，每一深沟深度大于该发光二极管单元高度；一第一绝缘层，覆盖于该多个发光二极管单元及该多个深沟内表面上；一第一反光性金属层，覆盖于该多个深沟内该第一绝缘层表面上；一第二绝缘层，配置于该多个深沟内该第一反光性金属层表面上，用以填满该多个深沟；一垫层，覆盖于该多个发光二极管单元第一绝缘层，及该多个深沟第二绝缘层之表面上；多个接触窗，位于该多个发光二极管单元之上，用以穿透该垫层及该第一绝缘层，使该多个发光二极管单元部分表面曝露出来；多个金属配线，是连接至曝露于该多个接触窗内该多个发光二极管表面；以及一底部金属层，系位于该基板底部。