[发明专利]用于半导体测试系统的电源电流测量单元无效
| 申请号： | 01110514.3 | 申请日： | 2001-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1320824A | 公开（公告）日： | 2001-11-07 |
| 发明（设计）人： | 菅森茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社鼎新 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蹇炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于半导体测试系统中的电源电流测量单元,包括D/A转换器,基于接受的数字信号,产生供给被测器件的电源电压;运算放大器,用于形成负反馈回路并把电源电压供给被测器件,由此通过电阻器,把电源电流提供给电源引线;电压放大器,用于放大代表电源电流量的电压;积分电路,用于在预定积分时间内对电压放大器的输出信号进行积分;A/D转换器,用于在积分时间之后,转换积分电路的输出信号。该单元能对被测器件的电源电流进行高速、准确地测试。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 测试 系统 电源 电流 测量 单元 | ||
【主权项】：
1．一种设置在一个半导体测试系统中的电源电流测量单元，用于测量流过被测器件的电源电流，包括：一个D/A(数字到模拟)转换器，基于接收到的数字信号，产生电源电压供给被测器件；一个运算放大器，用于形成负反馈回路，并且把电源电压从D/A转换器提供给被测器件的电源引线，由此通过一个已知电阻值的电流测量电阻器，把电源电流提供给电源引线。一个电压放大器，把代表提供给被测器件的电源电流量的电压进行放大；一个积分电路，在预定的积分时间内，将电压放大器的输出信号进行积分；和一个A/D(模拟到数字)转换器，用来在积分时间之后，对积分电路的输出信号进行转换。
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