[发明专利]双套管无效
申请号: | 01111219.0 | 申请日: | 2001-03-09 |
公开(公告)号: | CN1374476A | 公开(公告)日: | 2002-10-16 |
发明(设计)人: | 陈俊铭;黄圣祐;陈仕燃 | 申请(专利权)人: | 矽统科技股份有限公司 |
主分类号: | F17D5/02 | 分类号: | F17D5/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 台湾省新竹科学*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种双套管,包括一内管、一外管、一第一接合端、一第二接合端以及一气体外泄检测装置。气体外泄检测装置包括一压力指示计,一泵导管以及一个或数个阀门。当双套管於现场装设完成后,借助涡轮分子高真空泵与干式泵的抽气效率,使双套管的内管与外管间获得最佳的真空度。随后一种或多种气体通过第一接合端导入双套管,借助第二接合端与反应室的管路接合,并通过内管输送至反应室可通过压力指示计的读数可得知内管是否发生气体外泄。 | ||
搜索关键词: | 套管 | ||
【主权项】:
1.一种双套管,其特征在于,它至少包括:一内管,用以输送至少一种气体;一外管,用以环绕包覆于所述内管的外围,且所述内管与所述外管的两端分别密合于第一端与第二端;一泵导管,与所述外管接合,并配合一泵,用以将所述内管与所述外管间的气体抽离;以及一阀门,用以控制所述泵导管的开启/闭合。
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