[发明专利]具有高电感性和高品质因子的多层螺旋电感器结构

摘要

本发明提供一种多层集成电路技术所制造的高电感性和高品质因子的多层螺旋电感器结构。该电感器上层螺旋线圈的一端藉由介层窗插塞与下层螺旋线圈的一端相连接。每层螺旋线圈的连接方式可依循一组螺旋线圈连接码——下层螺旋线圈的边缘端连接中层螺旋线圈的边缘端而中层螺旋线圈的中心端连接上层螺旋线圈的中心端。因此,电流在每层螺旋线圈内流动方向是保持相同方向。该电感器结构具有愈多层螺旋线圈亦具有更高电感性。

主权项

1.一种形成在基材上的高电感和高品质因子的多层螺旋电感器结构，应用于射频电路，采用多层集成电路技术，包括：一第一隔离层，形成在该基材上；一第一阶层金属横跨线配置在该第一隔离层，然后，第二隔离层形成在该第一隔离层上及该第一阶层金属线上；一具有N1圈之第一层螺旋线圈配置在该第二隔离层上与该第一阶层金属横跨线上方，然后，第三隔离层形成在该第二隔离层上及该第二阶层金属线上；一具有N2圈的第二层螺旋线圈配置在该第三隔离层上与该第一层螺旋线圈上方而且以反射与旋转变换相对于第一层螺旋线圈中心旋转一角度，然后，第四隔离层形成在该第三隔离层上及该第三阶层金属线上；一具有N3圈第三层螺旋线圈配置在该第三隔离层上与该第二层螺旋线圈上方而且以反射与旋转变换相对于第二层螺旋线圈中心旋转一角度，然后，第五隔离层形成在该第四隔离层上及该第四阶层金属线上；第一层螺旋线圈边缘端藉由介层窗插塞与第二层螺旋线圈边缘端相连接而且第二层螺旋线圈中心端藉由介层窗插塞与第三层螺旋线圈中心端相连接，因此，电流在该三层螺旋线圈内流动方向是相同的。