[发明专利]被膜形成方法以及叶片式压缩机用叶片无效
| 申请号： | 01115822.0 | 申请日： | 2001-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1348019A | 公开（公告）日： | 2002-05-08 |
| 发明（设计）人： | 畠中喜代治;大森直之 | 申请（专利权）人： | 株式会社东研热技 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种被膜形成方法,具有在磁控溅射装置中在基材上形成铬层的前工序和在电弧式离子镀装置中把基材的温度保持在100－200℃并在所述Cr层上形成CrN层的后工序。利用这种方法基材的材质不用限定在特定的材质。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 方法 以及 叶片 压缩机 | ||
【主权项】：
1.一种被膜形成方法，其特征在于具有在磁控溅射装置中在基材上形成铬层的前工序和在电弧式离子镀装置中把基材的温度保持在100-200℃并在所述铬层上形成氮化铬层的后工序。
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