[发明专利]对电感线圈进行冷却的方法有效
申请号: | 01117021.2 | 申请日: | 2001-04-19 |
公开(公告)号: | CN1318850A | 公开(公告)日: | 2001-10-24 |
发明(设计)人: | 伊恩·蒙克里夫;克莱夫·L·威迪克斯 | 申请(专利权)人: | 特利康控股有限公司 |
主分类号: | H01F27/08 | 分类号: | H01F27/08;H01F27/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 孙征 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种在一真空处理腔室中对一包埋式电感线圈,比如一致电离线圈进行冷却的方法。线圈10可以包括有一绕制中空管11,当利用一泵13进行泵送时,冷却剂可以穿经该中空管进行流动。设置一阀16,以便空气可以沿某一方向穿经所述中空管,并且流动方向由一控制器20进行控制,该控制器20对阀16进行操作。阀16的转换频率可以由一工艺操作条件或者通过对下游的冷却剂和/或线圈的温度进行监控来进行确定。 | ||
搜索关键词: | 电感线圈 进行 冷却 方法 | ||
【主权项】:
1.一种对具有一穿经其进行延伸的冷却通道的电感线圈进行冷却的方法,该方法包括首先使冷却剂沿第一方向穿经所述冷却通道进行流动,并且随后再使冷却剂沿第二方向穿经该冷却通道进行流动。
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