[发明专利]微型射流陀螺

摘要

本发明属于微型测量仪器技术领域，涉及微型射流陀螺。包括一个封闭的射流源腔，在所说的射流源腔两侧通过小孔径的通道分别与两个封闭的检测腔相连；所说的射流源腔其上下壁的薄膜上分别设置有谐振驱动器；所说的两个检测腔的中部横向表面上以射流方向为对称轴对称设置有2ⁿ个热敏电阻丝，n是大于1的整数，以及与各对对称热敏电阻丝相连的检测电路。本发明为具有结构简单、无活动部件、可以基本利用标准工艺制作的微机电系统，并有较高的可靠性和产品合格率，可以充分发挥微系统可大批量生产的优点。

主权项

1、一种微型射流陀螺，其特征在于，包括一个封闭的射流源腔，在所说的射流源腔两侧通过小孔径的通道分别与两个封闭的检测腔相连；所说的射流源腔其上下壁的薄膜上分别设置有谐振驱动器；所说的两个检测腔的中部横向表面上以射流方向为对称轴对称设置有2n个热敏电阻丝，n是大于1的整数，以及与各对对称热敏电阻丝相连的检测电路；所说的检测电路包括：所说的每对对称热敏电阻与两参考电阻组成一电阻电桥，每个电阻电桥中的两热敏电阻丝之间、两参考电阻之间与一级差动放大器相连；两个一级差动放大器的输出端与一个二级差动放大器的输入端相连；两个二级差动放大器的输出端与一个三级差动放大器相连，如此构成多级差动电路；最后一级差动放大器的输出端与一个相敏解调器的输入端相连，该相敏解调器的输出端与一个低通滤波器的输入端相连，该低通滤波器的输出端与一个直流放大器的输入端相连。