[发明专利]振动型接触检测传感器有效
| 申请号： | 01121268.3 | 申请日： | 2001-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1165747C | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 松木薰;日高和彦;新井雅典 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 闻卿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 触针(20)直接固定在检测器(32)上，检测器(32)直接固定在支座(10)上。由此，以这样的状态构成了振动型接触检测传感器：其中支座(10)与触针(20)设置在相互间不会接触的位置，触针(20)与检测器(32)设置在相互接触的位置。由此，避免了由支座(10)引起触针(20)的振动和状态变化的衰减，触针(20)的振动和状态变化直接传播到检测器(32)，这样检测器(32)就能高灵敏度地检测到触针(20)的振动和状态变化，和高灵敏度地检测到触针与工件的接触。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 接触 检测 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种振动型接触检测传感器，它包括：柱状触针，在其顶端设置设有与工件接触的接触部分；振动器，用以使所述触针在所述触针的轴向方向产生振动；检测器，用以根据接触部分与工件相互接触时引起的所述触针振动状态的变化检测接触部分与工件的接触；支座，设有支撑部分，支座利用支撑部分支撑所述触针、所述振动器和所述检测器，其中所述振动器和所述检测器中至少有所述振动器固定在所述支座的支撑部分上，所述振动器和所述检测器中至少有所述检测器固定到所述触针上，其中所述支座的支撑部分与所述触针设置在不会相互接触的位置。
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