[发明专利]胶体状硅石淤浆有效
| 申请号： | 01123727.9 | 申请日： | 2001-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1150290C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 松村茂丰;冈田幸夫;马奈木龙夫;外山景司;酒井正年 | 申请（专利权）人： | 扶桑化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09K13/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨淑媛;郑霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种胶体状硅石淤浆，其特征是在胶体状硅石中添加5～100ppm的过氧化氢构成。该胶体状硅石淤浆不会对硅片及硅片上的配线材料产生腐蚀等不良影响，并且可以抑制微生物产生。同时，由于胶体粒子的粒径稳定性优良，所以保存稳定性高，可长期连续使用。 | ||
| 搜索关键词： | 胶体 硅石 | ||
【主权项】：
1.一种胶体状硅石淤浆，其特征是，在胶体状硅石中添加作为抗菌·抗生物剂的5～100ppm的过氧化氢构成，所述胶体状硅石的金属含量为1ppm或更小，而胶体状硅石淤浆的pH值为6.0～8.0。
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