[发明专利]蚀刻液及挠性配线板的制造方法无效
申请号: | 01125466.1 | 申请日: | 2001-07-11 |
公开(公告)号: | CN1349376A | 公开(公告)日: | 2002-05-15 |
发明(设计)人: | 寒川博司 | 申请(专利权)人: | 索尼化学株式会社 |
主分类号: | H05K3/46 | 分类号: | H05K3/46;H05K3/40 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 魏金玺,杨丽琴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题是在不用胺的情况下使聚酰亚胺的树脂层高精度而且迅速蚀刻。解决方法如下,本发明的蚀刻液分别含有碳数3以上6以下的二醇或者碳数4以上6以下的三醇在3重量%以上65重量%以内,碱性化合物在10重量%以上55重量%以内的范围,水为上述碱性化合物的0.75倍以上3.0倍以内的范围,如果将这样的蚀刻液加热到65℃以上,进行酰亚胺化率50%以上98%以内的聚酰亚胺的树脂层42的蚀刻,树脂层42会迅速被蚀刻,对作业环境也不产生不良影响。另外,即使使在蚀刻后树脂层42完全酰亚胺化,得到的树脂层43的蚀刻图案也不发生变形,树脂层43的杂质离子的污染程度也比用历来的蚀刻液的场合低。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻 挠性配 线板 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种蚀刻液,有醇、和水、和碱性化合物,用于以聚酰亚胺作为主成分的树脂层的蚀刻,其特征在于,该蚀刻液分别含有上述醇在3重量%以上65重量%以下范围,上述碱性化合物在10重量%以上55重量%以下范围,上述水在上述碱性化合物的重量的0.75倍以上3.0倍以下范围,上述醇以碳数在3以上6以下的二醇、或碳数在4以上6以下的三醇的任何一者或者两者作为主成分、上述碱性化合物以碱金属氢氧化物、或4级铵氢氧化物的任何一者或者两者作为主成分,
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