[发明专利]具有单镜头双视窗的对正系统无效
申请号: | 01125713.X | 申请日: | 2001-08-16 |
公开(公告)号: | CN1405854A | 公开(公告)日: | 2003-03-26 |
发明(设计)人: | 徐秋田 | 申请(专利权)人: | 优力特科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;B28D1/22 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 台湾省台中市西*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种具有单镜头双视窗的对正系统,包括一切割工作台、一驱动装置、一摄影机、一模拟/数字转换器、一前置影像存储装置、一中央处理器、一后置影像存储单元、一显示器及一动作控制装置。借此,当操作者目视所述显示器的二窗口中之一晶片的影像,并借助所述动作控制装置操控所述驱动装置,使所述切割工作台产生转动时,若所述二窗口邻接处的晶片的同一切割道的影像边界互相衔接对正时,即表示所述晶片已转动至一对正位置。 | ||
搜索关键词: | 具有 镜头 视窗 系统 | ||
【主权项】:
1.一种具有单镜头双视窗的对正系统,它包括一切割工作台、一驱动装置、一摄影机、一与所述摄影机连结的模拟/数字转换器、一与所述模拟/数字转换器连结的前置影像存储装置、一与所述前置影像存储装置连结的中央处理器、一与所述中央处理器连结的后置影像存储单元、一与所述后置影像存储单元连结的显示器及一与所述中央处理器连结的动作控制装置,其特征在于:所述切割工作台可供置放一晶片,所述晶片上形成有数个呈阵列式排列的单位芯片,且所述单位芯片彼此间均间隔有一切割道;所述驱动装置可驱动所述切割工作台;所述摄影机位于所述切割工作台上方,且具有一镜头;所述模拟/数字转换器可将所述摄影机的镜头所拍摄到的所述晶片的模拟影像转换为一数字影像;所述前置影像存储装置可储存所述模拟/数字转换器所传送的所述晶片的数字影像;所述中央处理器可接收、处理所述前置影像存储装置所传送的所述晶片的数字影像;所述后置影像存储单元包括二影像存储装置,所述二影像存储装置可同步接收所述中央处理器所传送的所述晶片的数字影像;当所述二影像存储装置同步接收到所述中央处理器所传送的所述晶片的数字影像时,所述二影像存储装置可将所述晶片的数字影像,同步显示于所述显示器中二互相邻接且完全相同的窗口上;所述动作控制装置可控制所述驱动装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造