[发明专利]复合汽相沉积膜的生产方法,其使用的材料及其生产方法无效
| 申请号： | 01125911.6 | 申请日： | 2001-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN1341772A | 公开（公告）日： | 2002-03-27 |
| 发明（设计）人： | 古市真治 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 龙传红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备适用于沉积在彩色电视显象管等的荧光屏上的复合汽相沉积膜的制备方法,在该膜中,一侧有高光反射率,而另一侧有吸收热射线的性能,本发明还公开一种适用于真空汽相沉积形成该复合汽相沉积膜的复合汽相沉积材料。该复合汽相沉积材料具有铝套,其中心区中有低蒸气压金属/准金属化合物粉末。要求低蒸气压金属/准金属化合物粉末分散和夹持在中心区中的铝中。用该复合汽相沉积材料进行真空汽相沉积,在汽相沉积的第一阶段生成铝组成几乎是100%的层,随后生成含有低蒸气压金属/准金属化合物的层,即使对膜进行热处理,低蒸气压金属/准金属化合物也不会从该层中扩散到在汽相沉积的开始阶段形成的铝层中。因此,能够保持一个有高光反射率的反射层。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 沉积 生产 方法 使用 材料 及其 | ||
【主权项】：
1、一种复合汽相沉积膜的制备方法，该膜有开始汽相沉积的铝层，含有铝和其蒸气压比铝的蒸气压低的金属/准金属化合物的最后汽相沉积层和具有梯度铝组成的中间部分，该方法包括：提供有铝主体和其中分散和夹持有其蒸气压比铝的蒸气压低的金属/准金属化合物粉末的中心区的复合汽相沉积材料，和在减压下加热该复合汽相沉积材料，将铝和金属/准金属化合物蒸发，将它们汽相沉积在要沉积的衬底上。
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