[发明专利]磁光记录靶材及其生产工艺

摘要

本发明提供一种磁光记录靶材及其生产工艺，属于光盘、磁光盘制造技术领域。利用轻、中稀土元素的高饱和磁化强度、高磁晶各向异性、高磁光效应的优点，对传统的铽铁钴磁光材料进行轻、中稀土掺杂。采用磁悬浮熔炼技术熔炼基靶合金，基靶合金成分为铁钴合金。将纯铽和轻稀土线切割成扇片或圆片，对称地镶嵌在铁钴合金基靶刻蚀最大的圆环区内制成复合靶，通过调节铽片、轻稀土片的数量与位置或改变基靶合金含量，来改变靶材成分。采用磁悬浮熔炼技术熔炼靶材合金，熔炼过程中，合金在磁场中被悬浮于坩埚中，同时在磁场作用下，对合金进行搅拌，保证合金成分的均匀性，并避免了因使用石英坩埚所导致的高成本和效率低的问题。用于光盘、磁光盘制造。

主权项

1.一种磁光记录靶材生产工艺，其特征在于工序1：先将工业纯铁进行表面化学处理，再把铽、轻稀土、铁在磁悬炉内进行精炼，同时把钴也进行表面处理，最后，在惰性气体保护下配料；工序2：将原料置于熔炼坩埚中，磁悬浮熔炼2～3次；工序3：在有氩气保护的真空配料箱内首先将合金锭粗碎，然后球磨；工序4：用冷等静压技术将纯净合金粉料压制成型；工序5：将装靶的石英容器置于高温真空烧结炉内，在1000℃以上保温烧结5小时，炉冷；工序6：在真空箱内将靶材打磨，抛光，测尺寸，称质量后，取出封装成型。