[发明专利]有机材料蒸发源无效
| 申请号： | 01129122.2 | 申请日： | 2001-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1421542A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 成建波;张磊;祁康成 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及有机材料真空蒸发镀膜所用的热蒸发源，它是一个金属容器，其内部设置有片状或柱状金属导热体。有机材料放置在金属容器内，利用金属容器器壁和金属片或金属柱的热传导实现对有机材料的均匀加热。从而解决蒸发过程中有机材料分解及材料粉末喷射出蒸发源的问题，蒸发速度稳定，薄膜缺陷少，适宜于多种有机材料的真空蒸发镀膜。本蒸发源控制简单，既适合于实验室研究需要，也能满足大规模连续生产的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种适用于有机材料真空蒸发镀膜的热蒸发源，其特征是该蒸发源是一个金属容器，其内部设置有片状或柱状金属导热体。
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