[发明专利]BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法无效
| 申请号： | 01130755.2 | 申请日： | 2001-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1162794C | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 吉利久;张立昂;崔鹏;蒋敏;杨兵;窦训金 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法，提取过程为：(1)器件选择，即选择一组大尺寸器件和一组小尺寸器件，小尺寸器件选择不同长度L和不同宽度W的器件组合，大尺寸器件选择不同宽度W和相同长度L的器件，0.35μm≤L≤20μm，0.35μm≤W≤20μm，小尺寸器件的最少个数为四，大尺寸器件的最少个数为三；(2)得到观测值：测量在不同体偏压Vbs(-3V-0V)和漏偏压Vds(0V-3V)下阈值电压Vth的值，得到一组Vth的观测值；(3)计算得到参数。本发明实现了参数的整体提取，不需要人工干预，准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | bsim3v3 模型 中的 阈值 电压 参数 提取 方法 | ||
【主权项】：
1.BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法，其特征在于，提取方法是单区方法，提取过程如下：(1)器件选择：选择一组大尺寸器件和一组小尺寸器件，小尺寸器件选择不同长度(L)和不同宽度(W)的器件组合，大尺寸器件选择不同宽度(W)和相同长度(L)的器件，0.35μm≤L≤20μm，0.35μm≤W≤20μm，小尺寸器件的最少个数为四，大尺寸器件的最少个数为三；(2)得到观测值：测量在不同体偏压Vbs和漏偏压Vds下阈值电压Vth的值，得到一组阈值电压Vth的观测值；其中Vbs在-3到0(单位V)间取值，Vds在0到3(单位V)间取值；(3)计算得到参数值：考虑测量值和理论值的残差，采用可分离最小二乘法，16个参数分为9个线性参数VTH0，K1，K2，K3，K3B，DVT0，ETA0，ETAB，DVT0W和7个非线性参数W0，NLX，DVT1，DVT2，DSUB，DVT1W，DVT2W，对非线性参数的目标函数采用最小二乘问题的拟牛顿法进行优化，得到非线性参数的最优值，线性参数的最优值由非线性参数的最优值得到。
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