[发明专利]采用多模态模糊控制算法的扫描隧道显微镜反馈控制装置

摘要

采用多模态模糊控制算法的扫描隧道显微镜反馈控制装置，有传感器、扫描控制电路、控制计算机、X、Y、Z扫描驱动电路、X、Y、Z扫描器，传感器将隧道电流信号放大，传至扫描控制电路，扫描控制电路接收控制计算机的参考电压REF-H和REF-L，同时输出放大后的隧道电流信号Im和控制信号Ready，控制信号Ready在隧道电流信号Im小于REF-H且大于REF-L时为高电位，否则为低电位，控制计算机接收扫描控制电路输出的控制信号Ready，当其为高电位时，计算机输出X、Y方向的扫描驱动信号，控制扫描器作X、Y方向的扫描；当其为低电压时，计算机仅输出Z方向的扫描驱动信号，控制扫描器作Z方向的扫描。本发明具有扫描准确、速度快、没有失真的特点。

主权项

1.一种采用多模态模糊控制算法的扫描隧道显微镜反馈控制装置，包括有传感器Sensor、控制计算机、X、Y、Z扫描驱动电路、X轴、Y轴、Z轴扫描器，其特征在于还设有扫描控制电路，传感器Sensor接收隧道电流信号，将其放大，传至扫描控制电路，扫描控制电路接收控制计算机来的参考电压REF-H和REF-L，同时输出放大后的隧道电流信号Im和控制信号Ready，控制信号Ready在隧道电流信号Im小于REF-H且大于REF-L时为高电位，否则为低电位，控制计算机接收扫描控制电路输出的控制信号Ready，当控制信号Ready为高电位时，计算机输出X、Y方向的扫描驱动信号，并分别通过X、Y扫描驱动电路控制X轴和Y轴扫描器分别作X、Y方向的扫描运动；当控制信号Ready为低电压时，计算机仅输出Z方向的扫描驱动信号，并通过Z扫描驱动电路控制Z轴扫描器作Z方向的扫描运动。