[发明专利]一种活化非导电性基板进行无电电镀反应制程的方法

摘要

本发明涉及一种活化非导电性基板进行无电电镀反应制程的方法，尤其涉及一种金属纳米粒子活化液应用于无电电镀制程的方法，其提出了一种活化非导电性基板的步骤，以进行无电电镀反应制程的方法。本发明方法利用含贵金属元素及其合金的纳米粒子水溶液作为无电电镀制程的活化液，而能在非导电性基板上及毫微米孔洞内进行无电电镀反应沉积导电性金属层。利用这个方法，可在非导电性基板上及基板的毫微米孔洞内成功地以无电电镀铜水溶液、无电电镀镍水溶液，沉积导电性铜金属及镍金属层。

主权项

1.一种活化非导电性基板进行无电电镀反应制程的方法，该方法以含贵金属纳米粒子的水溶液作为无电电镀制程的活化液，在非导电性基板上及基板的毫微米孔洞内进行无电电镀反应沉积导电性金属层，其步骤包含：a.以纯水洗净基板；b.以贵金属及其合金纳米粒子活化液活化基板；c.以纯水洗净基板；d.进行无电电镀浴；以及e.以纯水洗净基板。