[发明专利]半导体测试器件的测试板分割装置无效
| 申请号： | 01134981.6 | 申请日： | 2001-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN1421705A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈文祺 | 申请（专利权）人： | 陈文祺 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种半导体测试器件的测试板分割装置，包括一分割有一个以上区域的测试板及一个以上的受测器件(DUT)，其是将受测器件设在测试板的相对区域上，并有其接地点，使进行测试时，能降低噪声干扰，进而提高该半导体测试器件在测试时的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 测试 器件 分割 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体测试器件的测试板分割装置，包括：一分割有一个以上区域的测试板；一个以上的受测器件(DUT)，设在测试板的相对区域上，并有其接地点，使进行测试时，能降低噪声干扰，进而提高该半导体测试器件在测试时的准确度。
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