[发明专利]用于化学汽相淀积的有机金属化合物及其制造方法,贵金属膜及贵金属化合物膜的化学汽相淀积法无效
| 申请号： | 01135444.5 | 申请日： | 2001-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1357550A | 公开（公告）日： | 2002-07-10 |
| 发明（设计）人： | 冈本浩治 | 申请（专利权）人： | 田中贵金属工业株式会社 |
| 主分类号： | C07F15/00 | 分类号： | C07F15/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 第一种有机金属化合物是用于通过化学汽相淀积法制造钌膜或钌化合物膜的有机金属化合物,它是有一个正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基取代基的烷基环戊二烯基(环戊二烯基)钌。第二种有机金属化合物是用于通过化学汽相淀积法制造铱膜或铱氧化物膜的有机金属化合物,用于化学汽相淀积的有机金属化合物是有任何一个正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基取代基的烷基环戊二烯基(1,5－环辛二烯)铱。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 汽相淀积 有机 金属 化合物 及其 制造 方法 贵金属 汽相淀积法 | ||
【主权项】：
1.一种用于通过化学汽相淀积法制造钌膜或钌化合物膜的有机金属化合物，其中用于化学汽相淀积的有机金属化合物是下式1表示的烷基环戊二烯基(环戊二烯基)钌：式1其中，取代基R1代表正丙基、异丙基、正丁基、异丁基和叔丁基中任一烷基。
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