[发明专利]具有自检功能的角速度传感器

摘要

一种角速度传感器，备有驱动手段和检测手段。驱动手段使具有驱动部和检测角速度的检测部的传感元件中的驱动部稳定振动，检测手段从所述传感元件的检测部检测角速度。通过所述检测手段检测该检测手段中获得的机械结合信号，能获得故障时的自检信号。该传感器具有故障自检功能。

主权项

1.一种角速度传感器，其特征在于，包含：将驱动信号加给传感器元件的音叉型驱动部分的驱动电路，该传感元件具有驱动板和检测板；从所述传感元件的检测板检测角速度信号的检测体；从所述传感元件的检测体部分接收机械耦合信号的自检电路，其中，机械耦合信号与所述检测板和所述驱动板间的机械耦合相关，表明传感元件中机械故障，其中，检测板的各端在与所述驱动板正交的方向中分别与驱动板的对应端相连，其中，所述自检电路包含：电荷放大器；整流器；滤波器；和判定电路，和其中，机械耦合信号从检测板获得，由电荷放大器放大，经整流器整流，再由滤波器滤波，加到判定电路，该判定电路给出自检信号。