[发明专利]角速度传感器

摘要

一种角速度传感器，备有驱动手段和检测手段。驱动手段使具有驱动部和检测角速度的检测部的传感元件中的驱动部稳定振动，检测手段从所述传感元件的检测部检测角速度。通过所述检测手段检测该检测手段中获得的机械结合信号，能获得故障时的自检信号。该传感器具有故障自检功能。

主权项

1.一种角速度传感器，其特征在于，包含：取出一检测体输出的角速度的输出端，该检测体包含驱动部分、用于驱动所述驱动部分的驱动装置、及检测一角速度输出的检测装置；以及通过从所述检测体检测一不同于角速度信号的机械耦合信号来输出一自检用信号的自检装置，其中，所述检测体包含音叉型驱动部分以及两者构成所述驱动部分的两驱动板的端部所连接的各检测板，且所述检测板与所述驱动板正交，其中，检测到的机械耦合信号是自检信号，由所述检测板间的机械耦合产生，其中，从所述检测板获得的机械耦合信号提供给电荷放大器、整流器、滤波器和判定电路，所述角速度传感器包含一将从所述两检测板获得的机械耦合信号之和初始化设定为零的构件。