[发明专利]表面声波器件及其制造方法有效
| 申请号： | 01135985.4 | 申请日： | 2001-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1351418A | 公开（公告）日： | 2002-05-29 |
| 发明（设计）人： | 中尾武志;藤本耕治;门田道雄;米田年麿 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/10 | 分类号： | H03H9/10;H03H9/25 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 洪玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在使用SH型表面声波的表面声波器件中,用质量负荷效应比铝大的材料形成至少一个叉指换能器(IDT)。把该IDT的金属化率和归一化膜厚度h/λ控制在使横向模波引起的脉动为0.5dB或更小,这里“h”指电极的膜厚度,“λ”指表面声波的波长。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使用SH型表面声波的表面声波器件，其特征在于包括：石英基片；以及在石英基片上形成且由质量负荷效应比铝大的电极制成的至少一个叉指换能器，其中把叉指换能器的金属化率“d”和归一化膜厚度h/λ控制到落在特定范围内，从而使横向模波引起的脉动为0.5dB或更小，这里“λ”指表面声波的波长，“h”指叉指换能器电极的膜厚度。
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