[发明专利]具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置无效
| 申请号： | 01136318.5 | 申请日： | 2001-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1412206A | 公开（公告）日： | 2003-04-23 |
| 发明（设计）人： | 郑永万 | 申请（专利权）人： | 乐金电子(天津)电器有限公司 |
| 主分类号： | C08F2/52 | 分类号： | C08F2/52;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 天津三元专利事务所 | 代理人： | 郑永康 |
| 地址： | 30040*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置，包括聚合箱、经聚合处理的机板、供电装置、电极、反应气体、非反应气体、供注入反应气体和非反应气体的注入口、气体排出口，聚合箱的两侧分别设置推卷机和卷绕机；电极为两个不同极性的相互对应的第一、二电极，其间保持一定间距；第一电极的一边与第二电极的边缘相连；第一、二电极的内部均为中空状，且用绝缘体形成一个封闭结构；该第一、二电极及绝缘体组成的封闭体的一面设有气体注入口，第二电极表面呈多孔状，以构成含有多孔、内部是中空状的电极结构。本发明当进行聚合处理时防止电极上形成聚合物并碳化，还可防止反应气体对电极的碳化，使放电稳定，避免发生弓形板的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多孔 中空 电极 等离子体 聚合 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置，包括聚合箱、经聚合处理的机板、供电装置、电极、反应气体、非反应气体、供注入反应气体和非反应气体的注入口、气体排出口，聚合箱的两侧分别设置推卷机和卷绕机；其特征在于所述电极为两个不同极性的相互对应的第一、第二电极，其间保持一定间距；第一电极的一边与第二电极的边缘相连；第一、二电极的内部均为中空状，且用绝缘体形成一个封闭结构；该第一、二电极及绝缘体组成的封闭体的一面设有气体注入口，第二电极表面呈多孔状，以构成含有多孔、内部是中空状的电极结构。
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