[发明专利]具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置无效
申请号: | 01136319.3 | 申请日: | 2001-10-10 |
公开(公告)号: | CN1412207A | 公开(公告)日: | 2003-04-23 |
发明(设计)人: | 郑永万 | 申请(专利权)人: | 乐金电子(天津)电器有限公司 |
主分类号: | C08F2/52 | 分类号: | C08F2/52;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56 |
代理公司: | 天津三元专利事务所 | 代理人: | 郑永康 |
地址: | 30040*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置,包括工作箱,其内部设有上、下电极,其一侧设有提供薄板的放缠绕机,另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机;上、下电极后部设有为缩小放电范围,以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板;屏蔽板下面附着有为割断进行聚合物镀膜的金属网丝。本发明可减少电极上附着的聚合物以延长电极的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 具有 防止 电极 碳化 结构 等离子体 聚合 装置 | ||
【主权项】:
1、一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置,包括工作箱,其内部设有上、下电极,其一侧设有提供薄板的放缠绕机,另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机;其特征在于所述上、下电极后部设有为缩小放电范围,以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板。
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