[发明专利]利用等离子体的连续聚合系统的门开关装置无效
申请号: | 01136322.3 | 申请日: | 2001-10-10 |
公开(公告)号: | CN1412344A | 公开(公告)日: | 2003-04-23 |
发明(设计)人: | 尹东植 | 申请(专利权)人: | 乐金电子(天津)电器有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 天津三元专利事务所 | 代理人: | 郑永康 |
地址: | 30040*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种利用等离子体的连续聚合系统的门开关装置,设有对高分子膜进行蒸镀的工艺箱,该工艺箱的箱体上、下端留有一定的距离,分别形成开口部,其上、下端的开口部上分别装设有可覆盖的上、下门和连动机构,该上、下门靠接在其后端部的连动机构可以连动。该连动机构是由上部齿轮和下部齿轮组成,上部齿轮固定在所述上门后端一侧,依上门转动方向转动;下齿轮固定在所述下门的后端并与上齿轮咬合。本发明在工艺箱内部出现故障时,操作人员可以很方便的打开门进行修理,正常的保持开关状态,防止事故的出现。 | ||
搜索关键词: | 利用 等离子体 连续 聚合 系统 开关 装置 | ||
【主权项】:
1、一种利用等离子体的连续聚合系统的门开关装置,其特征在于设有对高分子膜进行蒸镀的工艺箱,该工艺箱的箱体上、下端留有一定的距离,分别形成开口部,其上、下端的开口部上分别装设有可覆盖的上、下门和由数个齿轮组成的连动机构,该上、下门靠接在其后端部的连动机构可以连动。
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