[发明专利]太阳光谱选择性吸收涂层无效
申请号: | 01138135.3 | 申请日: | 2001-12-31 |
公开(公告)号: | CN1360084A | 公开(公告)日: | 2002-07-24 |
发明(设计)人: | 史月艳;申越 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;F24J2/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种太阳光谱选择性吸收涂层,涉及太阳能集热器技术领域。包括反射层,吸收层,减反射层,其特征在于吸收层是以钛及合金铝为阴极在氮气、空气、氮气+氧气气氛中溅射而成的铝氮+钛氮-铝钛[(AlN+TiN)-AlTi]膜及铝氮氧+钛氮氧-铝钛[(AlNO+TiNO)-AlTi]膜,其减反射层为铝氮+钛氮(AlN+TiN)膜及铝氮氧+钛氮氧(AlNO+TiNO)膜。本发明制备的太阳光谱选择性吸收涂层在大气状态下经350℃,250小时,或400℃,50小时,或450℃,80小时烘烤后,其太阳吸收比α都可达0.93以上,发射率ε=0.06~0.10(80℃)。 | ||
搜索关键词: | 太阳 光谱 选择性 吸收 涂层 | ||
【主权项】:
1.一种太阳光谱选择性吸收涂层,包括反射层,吸收层,减反射层,其特征在于所述吸收层是以钛及合金铝为阴极在氮气气氛中溅射而成的铝氮+钛氮-铝钛[(AlN+TiN)-AlTi]膜。
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