[发明专利]一种超导薄膜谐振器无效
| 申请号： | 01140224.5 | 申请日： | 2001-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1352469A | 公开（公告）日： | 2002-06-05 |
| 发明（设计）人： | 谢飞翔;杨涛;马平;聂瑞娟;刘乐园;王福仁;王守证;王世光;戴远东 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L39/00 | 分类号： | H01L39/00;H03H9/00;H03H1/00 |
| 代理公司： | 北京华一君联专利事务所 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超导薄膜谐振器,属于射频超导量子干涉仪(rfSQUID)制造和应用领域。本发明的超导薄膜谐振器,由镀在单晶衬底上的非闭合的超导薄膜外环构成外环开口处的两端是梳齿式结构,两端的梳齿相互交叉,利用梳齿间的耦合电场构成电容;外环的其余部分构成电感。外环内部有超导薄膜,用作磁通聚焦器。本发明采用的梳齿式结构,可以通过增减梳齿数目和长度来调节谐振频率。本发明应用在超导量子干涉仪制造和应用领域中,可以简化SQUID探头制造工艺流程,提高SQUID探头参数的一致性,提高成品率。在应用中由于能保持较高的谐振频率和磁聚焦效率,所以SQUID系统可以获得高的磁通灵敏度和磁场灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超导 薄膜 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种超导薄膜谐振器，其特征是由镀在单晶衬底上的非闭合的超导薄膜外环构成；外环开口处的两端是梳齿式结构，两端的梳齿相互交叉，利用梳齿间的耦合电场构成电容，梳齿的数目和长度根据所需电容确定；外环的其余部分构成电感。
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