[发明专利]混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器和制作方法无效
| 申请号： | 01140498.1 | 申请日： | 2001-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1426138A | 公开（公告）日： | 2003-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘国利;王圩;朱洪亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器，包括：脊型波导结构电吸收调制器；脊型波导结构的隔离区，该隔离区与该电吸收调制器相连；掩埋异质结构DFB隔离区，该激光器与该隔离区相连；所说的电吸收调制器、隔离区、激光器均制作在同一衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 波导 结构 吸收 调制 分布 反馈 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器，其特征在于，包括：脊型波导结构电吸收调制器；脊型波导结构的隔离区，该隔离区与该电吸收调制器相连；掩埋异质结构DFB隔离区，该激光器与该隔离区相连；所说的电吸收调制器、隔离区、激光器均制作在同一衬底上。
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