[发明专利]光刻胶用剥离液组合物无效
| 申请号： | 01141490.1 | 申请日： | 2001-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1402089A | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 崔好星;金址洪;金泰根;吕相赫;朴海成 | 申请（专利权）人： | 株式会社德成 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 黄永奎 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶用剥离液组合物，其特征在于，它是由把10－40％(重量)的选自脂肪伯胺、脂肪仲胺、脂肪叔胺和羟胺中的有机胺化合物和10－80％(重量)的选自乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、丁基卡必醇、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、乙酸二丙二醇单甲醚酯、二丙二醇单乙醚、三乙二醇中的至少1种以上的质子性极性溶剂混合，且在上述极性溶剂中至少含5－30％(重量)的低毒性/亲水性的极性溶剂二丙二醇单甲醚和/或乙酸二丙二醇单甲醚酯所构成的。该剥离液有优异的溶解性和剥离性，并对金属配线的腐蚀性低，对O形环和配管的侵害性小，低挥发性/低毒性可使得环境污染和对操作人员的毒性问题变为最小。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶用剥离液组合物，其特征在于，该组合由把10-40％(重量)的选自于脂肪伯胺、脂肪仲胺、脂肪叔胺和羟胺中的有机胺化合物和10-80％(重量)的选自于乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、丁基卡必醇、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、乙酸二丙二醇单甲醚酯、二丙二醇单乙醚、三乙二醇中的至少1种以上的质子性极性溶剂混合，而且在上述极性溶剂中常常至少含5-30％(重量)的低毒性/亲水性的极性溶剂二丙二醇单甲醚和/或乙酸二丙二醇单甲醚酯，所构成的。
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