[发明专利]喷射头结构及其制造方法无效
| 申请号： | 01143334.5 | 申请日： | 2001-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1426844A | 公开（公告）日： | 2003-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄宗伟;陈志清 | 申请（专利权）人： | 明基电通股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/02 | 分类号： | B05B1/02;B05B1/24;B41J2/05 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯,肖鹂 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体喷射头结构及其制造方法。流体喷射头结构形成于一基材上，其包括有一气泡产生器，一用来控制该气泡产生器的功能元件，一由多晶硅所构成的第一导电线路，一流体腔，一相连通于流体腔的歧管，用以供应一流体至流体腔，以及一第二导电线路，用来电耦合于功能元件与气泡产生器之间，以及电耦合于功能元件与第一导电线路之间。其中，流体腔另包括有至少一连通至该基材表面的喷孔，而且栅极与第一导电线路形成于同一黄光暨蚀刻制作工艺(PEP)。 | ||
| 搜索关键词： | 喷射 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体喷射头结构，该流体喷射头结构包括有：一基材；至少一气泡产生器，设于该基材上；至少一功能元件，设于该基材上，用来控制该气泡产生器；一由多晶硅所构成的第一导电线路；以及一第二导电线路，用来电耦合于该功能元件与该气泡产生器之间，以及电耦合于该功能元件与该第一导电线路之间。
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