[发明专利]药液供给装置

摘要

本发明提供构造简单、可靠性高的药液供给装置。在径方向可弹性膨胀收缩的可挠性管13上，连接着设有供给侧开闭阀21和供给侧流路17和设有排出侧开闭阀22的排出侧流路19。在可挠性管13的外侧，配置着可在轴方向弹性变形的波纹管14。该波纹管14具有小型波纹管部24和大型波纹管部25。在可挠性管13与波纹管14之间的泵室42内，封入着非压缩性介质43。使小型波纹管部24与大型波纹管部25之间的作动盘部在轴方向变位，使波纹管14的容积变化，这样，可挠性管13在径方向膨胀收缩，进行泵动作。提供构造简单、可靠性高的药液供给装置。

主权项

1.药液供给装置，其特征在于，备有：可挠性管、供给侧流路、排出侧流路、波纹管、非压缩性介质、驱动机构；上述可挠性管，由弹性材料形成，可在径方向弹性地膨胀收缩；上述供给侧流路，连接在可挠性管的一端部与药液收容部之间，设有供给侧开闭阀；上述排出侧流路，连接在可挠性管的另一端部与药液排出部之间，设有排出侧开闭阀；上述波纹管，具有分别由弹性部件形成的小型波纹管部和大型波纹管部，该大型波纹管的轴方向每单位变位量的容积变化比小型波纹管的大，该波纹管配置在上述可挠性管的外侧，在轴方向可弹性变形；上述非压缩性介质被封入在上述可挠性管与上述波纹管之间；上述驱动机构，使波纹管在轴方向上弹性变形，使小型波纹管部收缩的同时、使大型波纹管部膨胀，从而使可挠性管在径方向弹性膨胀，另一方面，使小型波纹管部膨胀的同时、使大型波纹部收缩，从而使可挠性管在径方向弹性收缩。