[发明专利]阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法无效
| 申请号： | 01144119.4 | 申请日： | 2001-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1423140A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘育梁;贺月娇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/34;G02B6/124;G02B6/13 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构,该结构包括一个阵列波导光栅及与阵列波导光栅输入、输出波导阵列对准耦合的输入和输出光纤阵列,阵列波导光栅与光纤阵列集成在同一片硅衬底上,所述阵列波导光栅的输入/输出波导与光纤阵列采用自对准方法直接进行端面耦合,其中光纤阵列由基片上的V或U形槽阵列、上盖片和多芯单膜光纤通过粘接剂粘合而成。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 波导 光栅 光纤 一体化 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构，其特征在于，该结构包括一个阵列波导光栅及与阵列波导光栅输入、输出波导阵列对准耦合的输入和输出光纤阵列，阵列波导光栅与光纤阵列集成在同一片硅衬底上，所述阵列波导光栅的输入/输出波导与光纤阵列采用自对准方法直接进行端面耦合，其中光纤阵列由基片上的V或U形槽阵列、上盖片和多芯单膜光纤通过粘接剂粘合而成。
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