[发明专利]清洁工作舱和清洁通道

摘要

一种清洁工作舱,其具有一个向着一个清洁空间的内侧突出的工作单元,从而形成一个位于所述工作单元正下方的呈空间状态的部分。穿过工作单元的向下流动的清洁空气令人满意地均匀地向下流动,随后通过一个安置在清洁空间下侧的排气部而向着工作舱的外部平稳地排出。另外,一个室被形成以便与所述工作舱的外部从空间上分隔开。操作室内的压力被设置得比工作舱外部的压力要高,并被保持在低于清洁空间内的压力的水平。

主权项

1、一个清洁工作舱，包括：清洁空间，其通过一个本体部的壁部形成，并且向下流动的清洁空气被供应到所述清洁空间中；工作单元，其用于支撑安置在所述清洁空间内的一个工件；以及室，其通过一个位于所述清洁空间前侧的本体壁部而毗邻所述清洁空间，以便使得位于所述室内的操作者在将手伸展到所述清洁空间中的时候，可相对于安置在所述工作单元上的工件执行操作，其中，所述工作单元从形成所述清洁空间的一个后侧的所述本体壁部向着所述清洁空间的内侧突出，用于将向下流动的清洁空气排出所述工作舱的排气部被设置在所述清洁空间的下侧，所述室被构造以便将所述室通过一个覆盖所述室的板件而与所述工作舱的外部从空间上进行分隔，以及由于所述板件的分隔作用，所述室内部的压力被设置得比所述工作舱外部的压力要高，并且所述室内部的所述压力被设置得比所述清洁空间内部的压力要低。