[发明专利]一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料及其方法无效
| 申请号： | 01145043.6 | 申请日： | 2001-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1131531C | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 毕晓昉;宫声凯;徐惠彬 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01F1/12 | 分类号： | H01F1/12;H01F1/147;H01F41/30 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料的方法，它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的纳米多层高阻抗软磁材料，该高阻抗软磁材料由一层铁系软磁材料与一层陶瓷材料组成，其结构可以为一层铁系软磁材料，一层陶瓷材料；或者该高阻抗软磁材料由一层铁系软磁材料与一层铁系软磁材料和陶瓷材料的混合纳米颗粒材料组成，其结构可以为一层铁系软磁材料，一层铁系软磁材料和陶瓷材料的混合纳米颗粒材料。通过控制各层的晶粒度、单轴各向异性以及层间距，可以获得高饱和磁化强度及高电阻率的纳米级复合多层软磁材料。本发明制备的纳米混合层复合材料适用于高频交变磁场下工作的各种电子器件及其它用途的薄膜与涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用电 物理 沉积 制备 纳米 多层 阻抗 材料 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种纳米多层高阻抗软磁材料，它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的高阻抗软磁材料，其特征在于：高阻抗软磁材料由一层铁系软磁材料与一层陶瓷材料交替沉积组成，其结构为一层铁系软磁材料，一层陶瓷材料。
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