[发明专利]一种去除惰性气体中杂质的材料及其使用方法有效
| 申请号： | 01145123.8 | 申请日： | 2001-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1429658A | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 胡小敏;陈雨田;熊贤信;陈文宇;杨江喜;田明勇;路家兵;陈光明 | 申请（专利权）人： | 武汉钢铁集团氧气有限责任公司;北京特金电真空技术有限公司 |
| 主分类号： | B01J20/02 | 分类号： | B01J20/02;B01D53/02;C01B23/00;C22C16/00 |
| 代理公司： | 中国有色金属工业专利中心 | 代理人： | 李迎春,王连发 |
| 地址： | 430083 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种去除惰性气体中杂质的材料及其使用方法，涉及一种去除惰性气体氙、氪中的氟碳化合物杂质的材料及其使用方法。其特征在于该合金的重量百分比组成为：含铝10％－25％，含铪1％－2％，镧系稀土0.4％－5％，镍1％－3％，余量为锆和不可避免的杂质。其使用过程是在700℃－960℃温度，将进行活化处理2－3小时；在400℃－960℃温度下进行吸附气体杂质的气体净化过程，控制气体流量为0.5m3/h－10m3/h，工作压力为0.3MPa－1.5MPa。本发明的惰性气体净化材料，不吸收惰性气体，特别具有清除氟碳化合物(CF4、C2F4)等特殊性质。纯化后惰性气体纯度大于99.9999％，O2小于0.5ppm，氟碳化合物含量小于3ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 惰性气体 杂质 材料 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种去除惰性气体中杂质的材料，其特征在于该材料为一种锆合金，该合金的重量百分比组成为：含铝10％-25％，含铪1％-2％，镧系稀土0.4％-5％，镍1％-3％，余量为锆和不可避免的杂质，其材料为0.05mm-2.5mm的颗粒。
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