[发明专利]化学吸附膜无效
申请号: | 01145184.X | 申请日: | 1997-08-26 |
公开(公告)号: | CN1367045A | 公开(公告)日: | 2002-09-04 |
发明(设计)人: | 小川一文 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | B05D7/24 | 分类号: | B05D7/24 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨丽琴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种化学吸附膜,它是形成于基板表面的一种覆膜。其特征在于,构成所述覆膜的直链状碳链的分子被控制成相对于基板呈0与90°之间的角度,并且沿预定方向取向,以一端结合固定在基板表面。 | ||
搜索关键词: | 化学 吸附 | ||
【主权项】:
1.一种化学吸附膜,它是在基板表面形成的覆膜,其特征在于,构成上述覆膜的直链状碳链的分子被控制成相对于基板呈0与90°之间的角度,而且沿预定方向取向,以一端结合固定在基板表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社,未经松下电器产业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/01145184.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体器件以及显示装置
- 下一篇:用于降低半导体晶片中的波纹性的方法