[发明专利]风扇过滤器单元控制系统和具有该系统的无尘室无效
| 申请号： | 01145616.7 | 申请日： | 2001-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1401949A | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 横山诚;小野惠一;田村史之 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | F24F13/28 | 分类号： | F24F13/28;F24F7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新,叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。 | ||
| 搜索关键词： | 风扇 过滤器 单元 控制系统 具有 系统 无尘室 | ||
【主权项】：
1.一种风扇过滤单元控制系统，具有配置在无尘室顶棚部中的风扇过滤单元和控制该风扇过滤单元的控制装置，其特征在于，通过所述风扇过滤单元位置信息和配置在所述无尘室顶棚室内压差计的压力信息来控制所述风扇过滤单元的风扇电机转数。
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