[实用新型]有自校准功能的对电荷超敏感的库仑计无效
| 申请号： | 01201858.9 | 申请日： | 2001-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN2462400Y | 公开（公告）日： | 2001-11-28 |
| 发明（设计）人： | 王太宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李柏 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微电子器件和纳米器件,特别是涉及一种有自校准功能的对电荷超敏感的库仑计。在衬底上的导电材料层中分别有两个源极和漏极;在导电材料层的源极和漏极处各分别有两个槽,分别在两个槽之间的台面形成连接源极和漏极的一维波导,其宽度都是3—800纳米;在一维波导上沉积有线条栅,在一维波导的量子点5和一维波导的量子点6处,有连接量子点5和6的悬浮栅23。可用于探测万分之一的电子电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 功能 电荷 敏感 库仑计 | ||
【主权项】：
1．一种有自校准功能的对电荷超敏感的库仑计，其特征在于：在衬底(25)上的导电材料层(24)中有源极(1)、源极(2)和漏极(3)、漏极(4)；在导电材料层(24)的源极(1)和漏极(3)处有槽(13)和槽(15)，槽(13)和槽(15)之间的台面形成连接源极(1)和漏极(3)的一维波导(17)；在一维波导(17)上沉积有隧穿势垒线条栅(19)和(21)，隧穿势垒线条栅(19)和(21)之间的一维波导(17)为量子点(5)；在一维波导(17)的量子点(5)处有线条栅(7在导电材料层(24)的源极(2)和漏极(4)处有槽(14)和槽(16)，槽(14)和槽(16)之间的台面形成连接源极(2)和漏极(4)的一维波导(18)；在一维波导(18)上沉积有隧穿势垒线条栅(20)和(22)，隧穿势垒线条栅(20)和(22)之间的一维波导(18)为量子点(6)；在一维波导(18)的量子点(6)处有线条栅(8)；在一维波导(17)的量子点(5)和一维波导(18)的量子点(6)处，有连接量子点(5)和(6)的悬浮栅(23)。
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