[实用新型]光阻剥离装置无效
申请号: | 01219111.6 | 申请日: | 2001-04-06 |
公开(公告)号: | CN2541872Y | 公开(公告)日: | 2003-03-26 |
发明(设计)人: | 张毅;卢添荣 | 申请(专利权)人: | 铼宝科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人: | 王学强 |
地址: | 台湾新竹县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种光阻剥离装置,用来剥离有机电激发光显示面板表面上的光阻。该装置包括剥离单元,用来提供剥离液以去除该有机电激发光显示面板表面上的光阻;清洗单元,用来喷洒一清洗溶液以移除该有机电激发光显示面板表面上残留的剥离液;吹干设备,用来吹干该有机电激发光显示面板;传送滚轮,以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送至该剥离单元、该清洗单元以及该吹干单元中;控制单元,用来控制该传送单元的传送顺序与传送时间,以精确地控制该有机电激发光显示面板在每一个单元中的处理时间。 | ||
搜索关键词: | 剥离 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光阻剥离装置,适用于剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻,其特征在于:该装置包括:一剥离槽,该剥离槽内盛装剥离液;一清洗槽,配置于剥离槽之后,该清洗槽内盛装清洗液;一吹干设备,该吹干设备配置于该清洗槽之后;一传送滚轮,该传送滚轮配置于该剥离槽、该清洗槽及该吹干设备之间;一控制设备,该控制设备适于控制该传送滚轮的传送顺序与传送时间。
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