[实用新型]籽晶杆装置无效
| 申请号： | 01219207.4 | 申请日： | 2001-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN2476566Y | 公开（公告）日： | 2002-02-13 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;王永鸿;钱嘉裕;宋萍;张峰燚 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种籽晶杆装置,属于半导体晶体生长设备技术领域。籽晶杆装置由上籽晶杆和下籽晶杆组成,上籽晶杆是实心杆,下籽晶杆是空心管状杆,上籽晶杆的下端带有联接杆,联接杆与下籽晶杆的上端的联接孔配合联接,并用销子穿过联接杆和联接孔,下籽晶杆下端带有籽晶安装孔,其上带有定位销孔。这种籽晶杆在使用时热变形小,密封性好,对中性强,转动平稳不摆动。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 装置 | ||
【主权项】：
1.一种籽晶杆装置，其特征是：由上籽晶杆和下籽晶杆组成，上籽晶杆是实心杆，下籽晶杆是空心管状杆，上籽晶杆的下端带有联接杆，联接杆与下籽晶杆上端的联接孔配合联接，并用销子穿过联接杆和联接孔，下籽晶杆下端带有籽晶安装孔，其上带有定位销孔。
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